氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
二 系统配置:
ASM142氦质谱检漏仪主要包括以下器件:
序号 设备名称 序列号 数量
1 ASM142氦质谱检漏仪主机（包括一台 T0R00000B810 一套
机械泵、一台分子泵、一个质谱室、信
号放大器等仪器必须的部件。）
2 ALCATEL 200号油（1升/桶） 068694 1桶
3 灯丝 FILAMENT 053146 1备1用
三 技术规格:
灵敏度： 5.0×10-12mbar.l/s
漏率显示范围： 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
达到检漏的时间（空盒时）： 小于30秒
发射电流显示： 0.2—2mA
检漏口对氦气的抽速： 1.3升/秒
启动时间： 小于3分钟
接口尺寸: DN 25 KF
外观尺寸： 510´343´428mm
重量： 56Kg
电源： 220V 50Hz 单相
符合美国真空标准AVS2.1 以及ISO3530的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿系统。开机3分钟后完成全部准备工作。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：有效防止大气突然冲入对灯丝及质谱室的损害。